描述

设备O3WG100/1用于生产高纯度去离子水，水中溶解臭氧浓度受控。该设备可用于生产半导体和显示器，无需使用化学品即可清洁表面。输出管路的最大流量高达每分钟 100 升。我们还提供带有两个独立控制的臭氧水单元的双单元，用于多个设备或达到更高的流量。

特点和优点

    -硫酸 H2SO4 的替代品

    -化学品的环保替代品

    -节省化学品和处理成本

    -占地面积小

    -高流速，高浓度

    -触摸屏人机界面

    -显示器生产的一体化解决方案

配置

    -中空纤维膜接触器

    -臭氧水单位 100 slpm @ 25 ppm

    -可编程控制器

    -PFA高纯气动阀

    -触摸屏液晶显示器

    -无金属污染

可选

    -各种流速和浓度

    -标准流量 10/50/70/90/100 slpm

    -标准浓度高达 50 ppm

    -计算机网络支持

    -SECSII/GEM支持

    -双单元

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